Válvula de vácuo fabricante SS304 316L em aço inoxidável
VÁLVULA DE ÂNGULO | Operado manualmente com válvula de ângulo de fole |
VÁLVULA Z-INLINE | Válvula de ângulo acionada pneumaticamente |
VÁLVULA EM LINHA Y | Válvula em linha Y |
VÁLVULA DE ESFERA | Válvula de dois estágios |
VÁLVULA DE GAVETA | Válvula de gaveta UHV (com fole) |
Recursos
* Operação de longa vida.
* Eles funcionarão de forma confiável em aplicações que vão desde o sistema de produção de semicondutores com contaminação química e particulada.
* Vedação de fole soldada em aço inoxidável.
* Assável a 200ºC intermitentemente, tampa de vedação Viton.
* Acionamento manual e eletropneumático ou operadores à prova de falhas
* Tamanho compacto.
* Manutenção simples e rápida.
* Controle simples via válvula solenoide com acionamento manual.
Especificações
*Corpo | 304 SS (Outros materiais disponíveis mediante solicitação) |
* Boneco | 304 SS (Outros materiais disponíveis mediante solicitação) |
*Fole | Soldado AM-350 (opcional) |
*Solenóide | Opção |
*Indicador de posição | Opção |
*Foca | Viton O'ring |
*Taxa de vazamento | 2x10-9 std.cc./segundo |
*Variação de pressão | 1x10-9 torr a 760 torr tampa de vedação Viton |
*Pressão máxima△ antes de abrir | 1,2 Barra |
* Pressão de ar operacional | 4~6,5 kg/cm2 |
* Ciclos até o serviço | 16 a 50~500.000 |
*(orifício completo aberto) | 63 a 150~250.000 |
200 para maior ~ dependente do aplicativo | |
* Limitação de cozimento | Cobertura de vedação de Viton 150ºC |
Tamanho maior ou especial está disponível |
Aplicações
*Os modelos de porta KF, ISO e ANSI são projetados para aplicações de alto vácuo onde as pressões de vácuo se aproximam de 10-9torr e a temperatura de cozimento não excedem 150ºC.
*Os modelos de porta CF são projetados para aplicações de vácuo ultra-alto onde a pressão de vácuo se aproxima de 10-10as temperaturas de torr e bake-out não excedem 200ºC.Eles também são comumente usados em aplicações que exigem uma vedação mais permanente.
Shanteng vácuo está fornecendo soluções de vácuo para a indústria de semicondutores.
Oferecemos acessórios de peças de ultra alto vácuo, hardware, componentes, incluindo os flanges KF, CF, ISO ASA, acessórios;Também fazemos as válvulas de esfera de vácuo, válvulas de gaveta e válvulas de ângulo e câmaras de vácuo.Estamos tornando os processos mais eficientes, reduzindo o tempo de espera, economizando o custo para nossos clientes.
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